作者单位
摘要
1 同济大学物理科学与工程学院精密光学工程技术研究所,上海 200092
2 上海大学理学院,上海 200444
3 中国科学技术大学国家同步辐射实验室,安徽 合肥 230029
Mo/Si多层膜是13.5 nm极紫外波段理想的反射镜膜系,它与极紫外光源的结合使得极紫外光刻成为了目前最先进的制造手段之一。极紫外光源的实际应用对Mo/Si多层膜提出了高反射率、高热稳定性、抗辐照损伤、大口径等诸多要求。针对极紫外光源用Mo/Si多层膜面临的膜厚梯度控制和高温环境问题,利用掩模板辅助法对大口径曲面基底上不同位置处的多层膜膜厚进行修正;选择C作为扩散阻隔层材料,对磁控溅射法制备的Mo/Si、Mo/Si/C和Mo/C/Si/C三种多层膜在300 ℃高温应用环境下的热稳定性展开了研究。研究结果表明:通过掩模板辅助的方式能够将300 mm口径曲面基底上不同位置处的Mo/Si多层膜膜厚控制在预期厚度的±0.45%以内,基底上不同位置处Mo/Si多层膜的膜层结构和表面粗糙度基本相同;引入C扩散阻隔层后,经过300 ℃退火,Mo/Si多层膜的反射率损失从9.0%减少为1.8%,说明C的引入能够有效减少高温对多层膜微结构的破坏和对光学性能的影响,提高了多层膜的热稳定性。
激光光学 极紫外光源 Mo/Si多层膜 磁控溅射 膜厚控制 热稳定性 
中国激光
2024, 51(7): 0701014
宋艳洁 1,2朱铎 1,2薄勇 1,2,*彭钦军 1,2李江 3
作者单位
摘要
1 中国科学院理化技术研究所 固体激光重点实验室,北京 100190
2 中国科学院理化技术研究所 功能晶体与激光技术重点实验室,北京 100190
3 中国科学院上海硅酸盐研究所,上海 201899
高功率固体激光在先进制造、能源、信息、医疗及**等领域有广泛应用。激光陶瓷材料具有掺杂浓度均匀可控、抗激光热损伤能力强、易于制备大尺寸和复合结构等优点,被认为是高功率固体激光的重要增益材料。报道了本课题组近年来在高功率陶瓷板条激光方面的主要研究进展。采用中国科学院上海硅酸盐所制备的大尺寸Nd:YAG陶瓷板条,实现了平均功率4.35 kW的1064 nm脉冲激光输出,脉冲宽度为160 μs,重复频率为400 Hz。此外,采用中科院上海硅酸盐所制备的大尺寸Yb:YAG陶瓷板条,实现了平均功率9.8 kW的1030 nm脉冲激光输出,脉冲宽度为560 μs,重复频率为160 Hz,光光转换效率为60%。这些研究表明,激光陶瓷材料具备实现高功率、高光束质量与高效率激光的潜力。
激光 高功率 陶瓷 板条 YAG lasers high power ceramics slab YAG 
应用光学
2023, 44(6): 1195
作者单位
摘要
1 广西无线宽带通信与信号处理重点实验室, 广西 桂林 541004
2 成都华微电子科技有限公司, 成都 610041
为满足不同速率的串行收发数据采样需求,基于可重构电荷泵阵列设计了一种低抖动宽带锁相环时钟。根据锁相环倍频系数,自适应匹配电荷泵阵列输出电流,实现了较宽频率变换的低抖动输出时钟。锁相环时钟采用40 nm CMOS工艺设计,面积为367.227*569.344 μm2。测试结果表明,锁相环调谐范围为1~4 GHz,输出时钟均方根抖动为3.01 ps@1.25 GHz和3.98 ps@4 GHz,峰峰值抖动小于0.1UI。
可重构电荷泵 可重构分频器 自偏置锁相环 reconfigurable charge pump reconfigurable frequency divider self-biased phase locked loop 
微电子学
2023, 53(1): 89
Li Jiang 1,2,3Jinming Wu 1,2,3Rui Song 1,2,3,*Zilun Chen 1,2,3[ ... ]Jing Hou 1,2,3,*
Author Affiliations
Abstract
1 College of Advanced Interdisciplinary Studies, National University of Defense Technology, Changsha, China
2 Nanhu Laser Laboratory, National University of Defense Technology, Changsha, China
3 Hunan Provincial Key Laboratory of High Energy Laser Technology, National University of Defense Technology, Changsha, China
The random distributed-feedback fiber laser (RFL) is a new approach to obtain a high-power stable supercontinuum (SC) source. To consider both structure simplification and high-power SC output, an innovative structure achieving a kilowatt-level SC output in a single-stage RFL with a half-open cavity is demonstrated in this paper. It consists of a fiber oscillator, a piece of long passive fiber and a broadband coupler, among which the broadband coupler acting as a feedback device is crucial in SC generation. When the system has no feedback, the backward output power is up to 298 W under the pump power of 1185 W. When the feedback is introduced before the pump laser, the backward power loss can be reduced and the pump can be fully utilized, which could promote forward output power and conversion efficiency significantly. Under the maximum pump power of 1847 W, a 1300 W SC with spectrum ranging from 887 to 1920 nm and SC conversion efficiency of 66% is obtained. To the best of our knowledge, it is the simplest structure used for high-power SC generation, and both the generated SC output power and the conversion efficiency are highest in the scheme of the half-opened RFL output SC.
high conversion efficiency high-power supercontinuum random fiber laser single-stage structure 
High Power Laser Science and Engineering
2023, 11(6): 06000e80
吴俊林 1,2丁继扬 1,3黄新友 3朱丹阳 1,2[ ... ]李江 1,2,*
作者单位
摘要
1 1.中国科学院 上海硅酸盐研究所, 透明光功能无机材料重点实验室, 上海 201899
2 2.中国科学院大学 材料科学与光电工程中心, 北京 100049
3 3.江苏大学 材料科学与工程学院, 镇江 212013
4 4.散裂中子源科学中心, 东莞 523803
5 5.中国科学院 高能物理研究所, 核探测与核电子学国家重点实验室, 北京 100049
Gd2O2S:Tb闪烁陶瓷以其明亮的绿色发光、高能量转换效率和高中子俘获截面而广泛应用于中子成像和工业无损检测等领域, 但Gd2O2S:Tb陶瓷中存在的Gd2O3第二相影响其闪烁性能。本工作以H2SO4和Gd2O3为原料, 采用水浴法合成Gd2O2S:Tb前驱体, 研究了H2SO4与Gd2O3的摩尔比(n)对前驱体和Gd2O2S:Tb粉体性能的影响。前驱体的化学组成随n增大而变化:2Gd2O3·Gd2(SO4)3·xH2O(n<2.00)、Gd2O3·2Gd2(SO4)3·xH2O (2.25≤n≤2.75)和Gd2(SO4)3·8H2O(n=3.00), 经过空气煅烧和氢气还原后, 所有的粉体均形成Gd2O2S相。Gd2O2S:Tb粉体的形貌与前驱体的相组成密切相关, 随着n增大, Gd2O2S:Tb粉体的XEL强度增加呈现出两个阶段, 对应前驱体的相转变阶段。采用真空预烧结合热等静压烧结制备了Gd2O2S:Tb陶瓷, 相较于n为2.00、2.25、2.50, 其他n制备的Gd2O2S:Tb陶瓷都达到了较高的相对密度和XEL强度, 不同n制备的陶瓷中都存在Gd2O3第二相, n增大有利于减少陶瓷内部的第二相, 为进一步消除Gd2O2S:Tb陶瓷中的第二相提供了思路。
水浴法 H2SO4与Gd2O3摩尔比 Gd2O2S:Tb纳米粉体 闪烁陶瓷 water-bath method molar ratio of H2SO4 to Gd2O3 Gd2O2S:Tb nanopowder scintillation ceramics 
无机材料学报
2023, 38(4): 452
江丽 1,2,3宋锐 1,2,3,*侯静 1,2,3,**陈胜平 1,2,3[ ... ]韩凯 1,2
作者单位
摘要
1 国防科技大学前沿交叉学科学院,湖南 长沙 410073
2 国防科技大学南湖之光实验室,湖南 长沙 410073
3 国防科技大学高能激光技术湖南省重点实验室,湖南 长沙 410073
高功率可见光至近红外波段的超连续谱光源在光电对抗、光学相干层析成像和高光谱激光雷达等方面具有广泛的应用前景。最近几年,涌现了一些用于产生高功率超连续谱光源的新方法,推动了高功率超连续谱光源的进一步发展。本文从主振荡功率放大结构、随机光纤激光器结构以及多路非相干合成这三种用于高功率超连续谱产生的主流方案出发,着重介绍了近年来有代表性的高功率可见光至近红外波段超连续谱光源的研究进展,并综合分析了这三种方案的优缺点以及未来的发展潜力。
非线性光学 高功率光纤超连续谱 渐变折射率多模光纤 光子晶体光纤 随机光纤激光器 多路非相干合成 
光学学报
2023, 43(17): 1719001
Author Affiliations
Abstract
1 Institute of Precision Optical Engineering, MOE Key Laboratory of Advanced Micro-Structured Materials, Shanghai Frontiers Science Center of Digital Optics, Shanghai Professional Technical Service Platform for Full-Spectrum and High-Performance Optical Thin Film Devices and Applications, School of Physics Science and Engineering, Tongji University, Shanghai 200092, China
2 Research Center of Laser Fusion, China Academy of Engineering Physics, Mianyang 621900, China
Curved crystal imaging is an important means of plasma diagnosis. Due to the short wavelengths of high-energy X rays and the fixed lattice constant of the spherical crystal, it is difficult to apply the spherical crystal in high-energy X-ray imaging. In this study, we have developed a high-energy, high-resolution X-ray imager based on a toroidal crystal that can effectively correct astigmatism. We prepared a Ge 5 1 1 toroidal crystal for backlighting Mo Kα1 characteristic lines (17.48 keV) and verified its high-resolution imaging ability in high-energy X-ray region, achieving a spatial resolution of 5–10 µm in a field of view larger than 1.0 mm.
laser plasma diagnostics toroidal crystal monochromatic X-ray imaging 
Chinese Optics Letters
2023, 21(10): 103401
黄新友 1王雁斌 1,2程梓秋 2,3陈昊鸿 2,3[ ... ]李江 2,3,*
作者单位
摘要
1 江苏大学 材料科学与工程学院,江苏 镇江 212013
2 中国科学院上海硅酸盐究所 透明陶瓷研究中心,上海 201899
3 中国科学院大学 材料科学与光电工程中心,北京 100049
实现高发光效率、高亮度和良好的热稳定性是固态照明的迫切要求。因此,用于高功率发光二极管或激光二极管(LED/LD)的高性能荧光转换材料具有重要的研究意义。在这项工作中,通过将Lu3+离子引入YAG∶Ce荧光陶瓷中方法作为有效策略来改善YAG∶Ce荧光材料的发光性能。采用固相反应和真空烧结法制备了不同Lu3+含量的(Lu,Y)3Al5O12∶Ce荧光陶瓷(LuYAG∶Ce荧光陶瓷)。随着Lu3+含量的增加,LuYAG∶Ce荧光陶瓷中的Y3+位点被Lu3+位点取代,Ce3+的发射峰呈现从573 nm到563 nm的蓝移现象。当Lu3+含量为60%时,通过将LuYAG∶Ce荧光陶瓷与蓝光LED组合,其发光强度达到最大值,流明效率达到114 lm?W-1。使用450 nm激光源与LuYAG∶Ce荧光陶瓷构建了透射模式下的激光驱动照明装置。随着功率密度从2.2 W·mm-2增加到39 W·mm-2,Lu3+含量为60%的荧光陶瓷光通量从128 lm增加到1 874 lm,且没有发光饱和的迹象,最佳发光效率达到128 lm·W-1。因此,LuYAG∶Ce荧光陶瓷有望成为高功率LED/LD照明的潜在荧光转换材料。
(Lu,Y)3Al5O12∶Ce荧光陶瓷 固态照明 荧光转换材料 高亮度 (Lu,Y)3Al5O12∶Ce transparent ceramic phosphors(TCPs) solid-state lighting color conversion materials high-brightness 
发光学报
2023, 44(6): 964
于超 1,2孟翔宇 2江丽 1蔡宏 1[ ... ]浦世亮 1,*
作者单位
摘要
1 杭州海康威视数字技术股份有限公司海康威视研究院,浙江 杭州 310051
2 浙江大学计算机科学与技术学院,浙江 杭州 310058
全息近眼显示系统受到空间光调制器(SLM)空间带宽积的限制,光学扩展量一般较小,在保持适当视场(FOV)时容易出现眼盒较小的情况,使得用户观察到的图像容易出现缺失。基于二维表面浮雕光栅(SRG)和光波导的扩瞳作用,在适当FOV下,实现了眼盒的二维连续扩展。基于随机梯度下降算法,利用计算全息显示系统生成目标图像,利用目镜将之准直,再利用耦入光栅将其耦合进光波导内。利用光线在光波导内传播时遇到耦出光栅后部分光会被耦合出射、部分光继续传播的特性,系统在两个维度上对光束宽度进行了拓展,实现了扩展的眼盒。该系统与RGB彩色激光照明和SLM时分复用结合时可以实现彩色显示。实验证实,该方案实现了在38.6° FOV和20 mm的出瞳距下,大小为8 mm×6 mm的扩展眼盒,可有效解决用户观察到的图像易缺失的问题。
全息 计算全息 近眼显示 光波导 扩展眼盒 光瞳扩展 
光学学报
2023, 43(9): 0909001
作者单位
摘要
1 中国计量大学 光学与电子科技学院,浙江杭州3008
2 西安应用光学研究所,陕西西安710065
材料太赫兹吸收谱的指纹特性已被广泛应用于物质识别,但实际大气环境下,水蒸气对太赫兹波的强烈吸收会导致光谱严重振荡,假峰、弱峰、混叠峰相继增多,严重影响寻峰比对的精度及物质识别的能力。针对上述问题,提取相对湿度为2%,15%,35%,45%和60%环境下爆炸物的太赫兹吸收光谱信息数据,利用连续小波变换将光谱在频域上展开得到具有特征唯一性的频域尺度图;再基于深度学习方法,以ResNet-50网络模型为基本网络结构,对上述5种不同湿度环境下得到的爆炸物频域尺度图进行网络分类训练,其测试集分类准确率达96.6%。为验证该技术在未经训练湿度样本下的有效性,将相对湿度为50%,55%和67%时爆炸物的时域信号送入该识别系统,分类准确率可达96.2%。实验结果表明,基于小波变换与ResNet-50网络分类训练的太赫兹物质识别方法相比于传统寻峰方法大幅提升了爆炸物在高湿度环境下的识别准确率,规避了降噪、平滑等一系列复杂预处理操作,极大拓展了太赫兹光谱探测技术的工程适应性,为山地、森林、洼地等高湿度、极复杂的作战环境下精确探测、识别地雷等爆炸物提供了技术支持。
太赫兹光谱 高湿度环境 连续小波变换 ResNet-50 爆炸物分类识别 terahertz spectroscopy high humidity environment continuous wavelet transform ResNet-50 classification and identification of explosives 
光学 精密工程
2023, 31(7): 1065

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